不锈钢炉膛管式真空烧结炉主要用于电子器件、可控硅模块、热敏电阻、磁性材料、陶瓷金属化行业在真空环境下进行烧结、封装、退火、焊接等工艺。
不锈钢炉膛管式真空烧结炉技术指标:
u真空室工位数:1-3位
u真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa
u工作温度:<1200℃
u控温精度: ±1℃
u充气的压强:0.3Mpa(可控)
u不锈钢内胆:Φ150mm-Φ350mmx1300 mm
u恒温区:600-1200mm±1 ℃
u控温方式:三点三段采用原装进口高精度控温器
u控温曲线:9段升降温/999小时
u工作方式:自动或手动自由转换
u正压、负压均采用数字显示表
u双工位交替工作,行走X、Y方向