管式真空氢气还原炉主要用于电力电子器件、热敏电阻、可控硅模块、陶瓷金属化等在氢气气氛保护下进行还原、退火、合金等工艺,可进行常压条件下的氢气还原工艺和真空条件下的氢气还原工艺。
管式真空氢气还原炉技术指标:
u工作温度:200—1300 ℃
u加热元件:康泰尔丝
u保温材料:高纯纤维制品
u炉管材料:石英管、刚玉管
u控制方式:PlD控制,参数自整定
u加热区:根据工艺要求
u报警保护:超温、水压、停气等声光报警保护
u控制精度:±1℃
u控制气氛:根据工艺要求
u出口工件温度:≤65℃
u工艺方式:常压氢气还原工艺、真空氢气还原工艺
u工艺方式:常压氢气还原工艺、真空氢气还原工艺