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本扩散炉加热炉体可完全代替进口炉体，加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度200—1300℃。
扩散炉加热炉体技术指标：
u加热炉丝：瑞典康泰尔高温炉丝
u保温材料：英国摩根进口保温棉
u绝缘材料：高纯度95瓷拉条绝缘子
u使用温度：200℃—1300℃
u外 壳：不锈钢板
u端 口：氧化铝氧化锆
u控温段：3段、5段、9段控温
u口 径：Φ80mm—Φ500mm
u恒温区：根据工艺要求